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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
詳情介紹：
用于調(diào)查附著的灰塵！“落塵計數(shù)器”
“粗顆粒計數(shù)器”是一種完全不同的測量設(shè)備。
一種可以測量粘附粉塵而不是漂浮粉塵的專用測量儀器。
對10μm以上的粗大顆粒進行分類計數(shù)！
你有這方面的問題嗎？
- 即使在無塵室內(nèi)工作，異物的附著也不會減少。
- 雖然它是用粒子計數(shù)器管理的，但它不能與缺陷相關(guān)聯(lián)。
- 我想創(chuàng)造一個干凈的環(huán)境，但我不知道如何管理它。
- 衣服上附著的異物帶入對策困難重重。
作為以粗大粒子（10μm以上）對策、粉塵、異物對策為目標的潔凈環(huán)境構(gòu)建指標，落塵測量非常有效。
點擊此處查看 2021 年 2 月頒布的 ISO14644-17 中描述的 PDR 和 PDRL 之間的關(guān)系
符合ISO14644-9（表面清潔標準）。單擊此處查看“落塵計數(shù)器”以調(diào)查附著的灰塵
什么是落塵計數(shù)器？
這是一種特殊的測量儀器，可以測量落下的灰塵而不是浮塵。對10μm以上的粗顆粒進行分級計數(shù)。潔凈室中粘附在產(chǎn)品上并引起粉塵和異物缺陷的顆粒，很多都是落塵，其特點是落下速度非常緩慢，并且會不斷堆積。
落塵計數(shù)器是利用樣品收集盤（4英寸硅片）對落在其上的粉塵進行分類計數(shù)的裝置。測量結(jié)果可以在 PC 上顯示和保存。由于采樣是在硅晶圓上進行的，因此可以在放置晶圓的任何地方進行評估。
*硅晶圓是一種半導(dǎo)體基板，是一種表面平整度和耐熱性**的圓盤狀樣板。
本產(chǎn)品是專門用于對硅片樣品中10μm～100μm的粗顆粒進行分類計數(shù)的測量裝置。
由于形狀和重量，大于 100 μm 的顆粒不適用于硅片樣品。
在這種情況下，請嘗試“Dusker” 。
落塵計數(shù)器陣容
| DTSP10-02 | DTSP10-03 | ||
| *小可測量晶粒度 | 10 微米 | 10 微米 | |
| 粒度劃分 |
10μm、30μm 50μm、100μm |
10 μm、30 μm 50 μm、100 μm 11 ～ 99 μm 范圍內(nèi)任意設(shè)定 *3) |
|
| 兼容晶圓尺寸 | 4英寸 | 4英寸 | 2英寸*4) |
| *大測量面積 | Ф80mm | Ф80mm | Ф30mm |
| 微調(diào)功能 | 是的 | 是的 | 沒有任何 |
| 顯示切換 | 沒有任何 | 有（可以單獨顯示） | |
*3) 可選類別中設(shè)置的閾值是從校準曲線中獲得的值，不能保證計數(shù)效率。
*4) 只保證4英寸區(qū)域的計數(shù)效率，不能保證2英寸區(qū)域的計數(shù)效率，是有限的。
| DTSP10-02 | DTSP10-03 |
|
-3.png)
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