全部產(chǎn)品分類
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- GPD型儀表保護器
- 臺式油壓機
- 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
特征
可以將通過熱化CVD、蝕刻等在高溫區(qū)域
產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。
UR 系列可以加熱到比 HR 系列更高的溫度。
由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封罐裝電機，因此非常**。
瞬時停電對策：采取
1000msec以內(nèi)的瞬時停電對策。
優(yōu)異的耐蝕性
主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時減少泵內(nèi)部的腐蝕。
通訊功能：
可讀取與泵運行狀態(tài)和警告/報警歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。
詳情介紹：
| 模型 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用的泵 | DRP |
UR421-T
|
UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| MBP | ―――― | PRC-006A | PRC-012A | 中國-018A | PRC-036C-T | ||||
| *大排氣速度 |
410 米3 / 小時 （6833 升 / 分鐘） |
653 米3 / 小時 （10883 升 / 分鐘） |
1012 米3 / 小時 （16867 升 / 分鐘） |
1701 米3 / 小時 （28350 升 / 分鐘） |
2700 米3 / 小時 （45000 升 / 分鐘） |
||||
| 達到壓力 |
5.0帕
|
||||||||
|
*大進氣壓力 （進氣壓力） |
大氣壓*1 | ||||||||
|
*大排氣口壓力 （排氣壓力） |
1～大氣壓Pa | ||||||||
| 進氣口（CE規(guī)格） | VG100 |
VG80 (NW80)
|
VG100 (NW100)
|
VG150 (NW100)
|
VG150 |
||||
| 排氣口 | VG50 |
NW40
|
NW50 | ||||||
| 大量的 | 415 公斤 | 370 公斤 | 403 公斤 | 553 公斤 | 720 公斤 | ||||
| 電力 | 三相 |
180-240 VAC / 380-440 VAC (50/60 Hz) |
200 伏交流電（50/60 赫茲）/220 伏交流電（60 赫茲） |
180-240 VAC / 380-440 VAC (50/60 Hz) |
|||||
| 當前值 | 常規(guī)時間 | 23 A（200V 時） | 16.4 A（200V 時） | 18.9 A（200V 時） |
29.2 A (200V) 20.5 A (400V) |
39.8 A（200V 時） 20.5A（400V 時） |
|||
| *大值 | 52.5 A（200V 時） | 17.3 A（200V 時） | 22.4 A（200V 時） |
34.9 A（200V 時） 40.5A（400V 時） |
68.3 A（200V 時） 40.5A（400V 時） |
||||
| 臨時冷卻水壓力 | 0.2～0.5Mpa | 0.1～0.3Mpa | 0.2～0.5Mpa | ||||||
| 冷卻水進/出口壓差 | > 0.2 兆帕 | > 0.1 兆帕 | > 0.1 兆帕 | > 0.1 兆帕 | > 0.2 兆帕 | ||||
| 冷卻水流量 | > 5.0升/分鐘 | ||||||||
| 吹掃氣體 | 初級壓力 | 0.1～0.5Mpa | |||||||
| 二次壓力 | 0.05 ~ 0.1 兆帕 | ||||||||
| N 2吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣漲 | 0 ~ 195 SLM | 0 ~ 45 SLM | 0 ~ 195 SLM | 0 ~ 195 SLM | |||||
