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準分子燈
封入氙氣的準分子(Excimer)燈(誘電體屏障放電Excimer燈)可有效放射波長180nm以下的VUV(真空紫外線),達到超越以往的化學反應與反應速度。
USHIO光照射裝置用準分子燈
特征
單一波長、低溫處理
因為是單一波長,因此可選擇會引起化學反應的紫外線,并可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。
高效率
從電力轉換為光能源的效率高(172nm型的轉換率10%),即使低電力亦可產生大的能量。
可瞬間亮燈滅燈
僅于必要時照射必要量的能量,因此具備不需要快門、實際上可延長使用壽命等各種優(yōu)點。
安裝方向不受限制
燈的亮燈方向不受限制,可配合生產線做立面照射。
USHIO光照射裝置用準分子燈
分光分布
USHIO光照射裝置用準分子燈
半導體制程用裝置實例
USHIO光照射裝置用準分子燈
液晶制程用裝置實例
USHIO光照射裝置用準分子燈
主要用途
HDD光盤洗凈
阻劑剝離
阻劑殘渣的剝離
塑料基板的洗凈
金屬表面的清洗與重組
Low-k Cure
PDP熒光體評估
分析評估前的洗凈
氣體分解
形成氧化膜
防止帶電
干燥
玻璃膠膜的貼合
纖維的改質
有機EL封裝管的接合性提升
有機EL的工作函數(shù)増加
測試機介紹
提供使用產品的實驗或測試機。測試后可直接購買。
※部份使用目的與用途等無法配合需求。敬請見諒