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- 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
*多可同時(shí)測(cè)量 8 個(gè)點(diǎn)
可以顯示從 ppm 級(jí)到 100% 的廣泛濃度范圍。
*適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。
傳感器為直插式（真空用 NW 法蘭 16/25/40）
高度耐用的傳感器涂有特殊涂層，以進(jìn)一步提高其耐用性。
詳情介紹：
| 測(cè)量原理 | 氧化鋯濃縮電池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分體式（傳感器：壁掛式，傳感器：直插式） | ||
| 顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（濃度顯示） | ||
| 測(cè)量范圍 |
0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol% O2 10 -20至10 -0 atm 自動(dòng)量程 |
||
| 可重復(fù)性 |
±0.5%FS 以內(nèi) 高于 0-1% 范圍和 ±1%FS 或 ±0.1ppm，以較大者為準(zhǔn) 小于 0-1% 范圍 0-1ppm，atm 范圍超出保證濃度范圍 |
||
| 測(cè)量點(diǎn)數(shù) | 1到8 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 10 -3～200KPa（絕壓） | |
| 流量 | 0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min（自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量） | ||
| 濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0 至 100°C | ||
| 其他 | 不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫化物系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括氣體）、油、水分 | ||
| 比較氣體 | 氣氛 | ||
| 記錄儀輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C | ||
| 報(bào)警輸出 | 沒(méi)有任何 | ||
| 熱身時(shí)間 | 6分鐘內(nèi) | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92(W)×44(H)×120(D)（不含突起） | |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 100(W) x 40(H) x 88(D)（不包括突出部分） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 全長(zhǎng)100mm（傳感部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 全長(zhǎng)100mm（傳感部分Φ11×42，本體部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 全長(zhǎng)100mm（傳感部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） | ||
| 大量的 | MS-500（控制器） | 約0.6公斤 | |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 約0.5公斤 | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 約 0.2 公斤 | |
| SD25NW | 約 0.2 公斤 | ||
| SD40NW | 約0.35公斤 | ||
| 外部連接 | 任一真空法蘭（NW16、25、40） | ||
| 使用的電源 | 24VDC±10% | ||
